掃瞄式電子顯微實驗室
Scanning Electron Microscope Laboratory
國立中山大學 海洋科學系 Department of Oceanograhpy, National Sun Yat-sen University

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主要功能:顯微組織觀察,提供二次電子(SE)影像和背向散射電子(BSE)影像,用於樣品表面形貌與組織之顯微觀察。BSE 影像可以反映樣品化學組成上之差異。提供低真空模式下操作,可以觀察未經蒸鍍導電層未經乾燥處理之固體或生物樣品。

 

掃描式電子顯微鏡
Scanning Electron Microscope

一、主要功能:

顯微組織觀察,提供二次電子(SE)影像和背向散射電子(BSE)影像,用於樣品表面形貌與組織之顯微觀察。BSE 影像可以反映樣品化學組成上之差異。提供低真空模式下操作,可以使用BSE觀察未經蒸鍍導電層或未經乾燥處理之固體或生物樣品。

 

二、主要規格:

型號:Hitachi S-3000N SEM

解析度(at 25 kV):二次電子(SE)影像 3.0 nm;背向散射電子(BSE)影像 4.0 nm

加速電壓:0.3 ~ 30 kV

放大倍率:x5 ~ x300,000 (153 steps)

樣品載台:Super eucentric stage, X = 32 mm, Y = 32 mm, Z = 5 ~ 35 mm, Rotation = 360°, Tilt = -90° ~ +90°

電子槍:鎢絲(預先校正中心型)

真空系統:一個DP570 L/sec),兩個RP160 L/min);全自動氣壓式閥門控制真空系統;具可變真空調整裝置,可於低真空條件觀察BSE影像。

真空度:高真空1.5 x 10-3 Pa (~1 x 10-5 Torr) ;低真空1 ~ 270 Pa


三、樣品條件:

本儀器不接受 以下狀況之試件:
         (1)
含有毒性、腐蝕性或低熔點之試樣;
         (2)
具磁性之試樣;
         (3)
固定不良之粉粒試樣;
         (4)
尺寸超過標準過多(直徑 5 cm、厚度 2 cm
以上)之試樣。

使用高真空模式操作時,導電性不良之樣品須預先蒸鍍上導電材料,例如鍍金或鍍碳。

樣品尺寸:以不超過直徑 3 cm或邊長 3 cm x 3 cm ,或高 1 cm以下為原則。

 


Hitachi S-3000N 掃描式電子顯微鏡

 

 


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