電子顯微分析實驗室  Electron Microscopic Analysis Laboratory
國立中山大學 海洋生物科技暨資源學系 Department of Marine Biotechnology and Resources, National Sun Yat-sen University

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掃描式電子顯微鏡附加能量分散光譜儀
Scanning Electron Microscope/Energy Dispersive Spectrometer, SEM/EDS

一、主要功能:

1) 顯微組織觀察,提供二次電子(SE)影像和背向散射電子(BSE)影像,用於樣品表面形貌與組織之顯微觀察。BSE影像可以反映樣品化學組成上之差異。

2) 微區化學成份定性、半定量及定量分析。可偵測主要元素與次要元素,小於~0.1 wt%之微量元素無法準確偵測;可偵測元素範圍:5B ~ 92U

二、主要規格:

型號:Hitachi S-3000N SEM附加Horiba EX-250 EDS

解析度(at 25 kV):二次電子(SE)影像 3.0 nm;背向散射電子(BSE)影像 4.0 nm

加速電壓:0.3 ~ 30 kV

放大倍率:x5 ~ x300,000 ( 153 steps )

樣品載台:Super eucentric stage, X = 32 mm, Y = 32 mm, Z = 5 ~ 35 mm, Rotation = 360°, Tilt = -90° ~ +90°

電子槍:鎢絲(預先校正中心型)

真空系統:一個DP570 L/sec),兩個RP160L/min);全自動氣壓式閥門控制真空系統

真空度:1.5 x 10-3 Pa ( ~1 x 10-5 Torr, ~ 1.5 x 10-8 atm )

附加裝置:Horiba EX-250 能量散射光譜儀(EDS),EMAX操作系統;Faraday cup;微電流計

元素分析時使用條件:加速電壓 15 kV;電子束電流 0.400 nA;工作距離 15 mmX-光起飛角 35°


三、樣品條件:

樣品必須為完全乾燥之固體,生物樣品必須完全脫水乾燥。本儀器不接受 以下狀況之試件:
      (
1)含水氣或含揮發性物質之試樣,或高真空下會揮發之試樣;
      (
2)含有毒性、腐蝕性或低熔點之試樣
      (
3)具磁性之試樣
      (
4)固定不良之粉粒試樣
      (
5) 尺寸超過標準過多(直徑 5 cm、厚度 2 cm以上)之試樣

導電性不良之樣品需事先鍍上導電材料,例如鍍金或鍍碳。

樣 品尺寸:以不超過直徑 3 cm或邊長 3 cm x 3 cm ,或高 1 cm以下為原則。

SEM_DES

Hitachi S-3000N 掃描式電子顯微鏡附加Horiba EX-250能量分散光譜儀


國立中山大學海洋生物科技暨資源學系 電子顯微分析實驗室( Electron Microscopic Analysis Laboratory
研究助理:曹懿麒(07-5252000, 分機5034


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